自卷曲管状二氧化钒薄膜测辐射热计(材料科学系 梅永丰团队)

非制冷红外探测器新突破:薄膜自卷曲组装片上三维管状二氧化钒测辐射热计。非制冷红外成像在军事国防、航空航天和医疗诊断等领域具有不可替代的地位,其相关技术水平是一个国家硬实力的表现之一。在芯片上制备具有良好热绝缘的高性能红外探测器件是制造非制冷红外成像系统的关键。为实现具有高吸光效率的热绝缘薄膜器件,梅永丰团队通过应变薄膜自卷曲技术制造了片上管状二氧化钒测辐射热计,在国际上率先创建了一种新型三维悬空红外热探测器结构的高效制备新路线。该成果利用成熟的后端工艺将热敏感二氧化钒薄膜从衬底释放并组装为三维微管结构,在实现高度热绝缘、高吸收效率的同时还具有广角光耦合和偏振光探测的优越性能。相关成果发表于Science Advances,论文题目为“One-step rolling fabrication of VO2 tubular bolometers with polarization-sensitive and omnidirectional detection”,发表时间为202310月。

梅永丰,复旦大学材料科学系教授、博导、副系主任。本团队研究方向为无机功能薄膜材料及相关工艺和物性研究,将纳米与薄膜材料应用在微纳机器人,新型电子与光电子技术(柔性、瞬态及重构等)以及光子材料和器件等领域,相关成果在Science RoboticsScience Advancesnature communicationsAdvanced Materials等国际一流学术期刊上发表。


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